Реактивное нанесение в вакууме слоев нитрида титана и применение их в системах контактной металлизации полупроводниковых приборов
- Author
- Сейдман Л.А.
- Publisher
- Электроника
- Language
- Russian
- Year
- 1988
- File Type
- djvu
- File Size
- 1.7 MiB
How to Download?!!!
Just click on START button on Telegram Bot