Методы литографии в наноинженерии [Электронный ресурс] : учебно-методический комплекс по тематическому направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению 152200 "Наноинженерия"