Диффузионное перераспределение ионно-имплантированных примесей: Практикум к спецкурсу ''Моделирование в микроэлектронике''
- Author
- Быкадорова Г.В., Гольдфарб В.А., Кожевников В.А., Асессоров В.В.
- Publisher
- Изд-во ВГУ
- Language
- Russian
- Year
- 2003
- Page
- 26
- File Type
- pdf
- File Size
- 185.1 KiB
How to Download?!!!
Just click on START button on Telegram Bot