Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen: Beschichten und Strukturieren in der Mikrotechnik
- Author
- Dr. Gerhard Franz (auth.)
- Publisher
- Springer Berlin Heidelberg
- Language
- German
- Year
- 1994
- Page
- 439
- ISBN
- 978-3-662-08980-4,978-3-662-08979-8
- File Type
- pdf
- File Size
- 9.8 MiB
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