Silizium-Planartechnologie: Grundprozesse, Physik und Bauelemente
- Author
- Prof. Dr.-Ing. Dr. h. c. Hans-Günther Wagemann, Dr.-Ing. Tim Schönauer (auth.)
- Publisher
- Vieweg+Teubner Verlag
- Language
- German
- Edition
- 1
- Year
- 2003
- Page
- 212
- ISBN
- 978-3-519-00467-7,978-3-322-80070-1
- File Type
- pdf
- File Size
- 12.8 MiB
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