Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden
- Author
- Prof. Dr. rer. nat. Bernd Höfflinger, Dr. rer. nat. Günter Zimmer, Dipl. -Phys. Heinz Gerd Graf (auth.)
- Publisher
- VS Verlag für Sozialwissenschaften
- Language
- German
- Edition
- 1
- Year
- 1982
- Page
- 42
- ISBN
- 978-3-531-03133-0,978-3-322-87706-2
- File Type
- pdf
- File Size
- 803.5 KiB
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