Prozeßtechnologie: Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen
- Author
- Dr. rer. nat. Günter Schumicki, Dr.-Ing. Peter Seegebrecht (auth.)
- Publisher
- Springer-Verlag Berlin Heidelberg
- Language
- German
- Edition
- 1
- Year
- 1991
- Page
- 500
- ISBN
- 978-3-540-17670-1,978-3-662-09540-9
- File Type
- pdf
- File Size
- 25.2 MiB
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