Vakuumbeschichtung: Anlagenautomatisierung — Meß- und Analysentechnik
- Author
- H. Birck, J. Moll (auth.), Prof. Dr. Gerhard Kienel (eds.)
- Publisher
- Springer-Verlag Berlin Heidelberg
- Language
- German
- Edition
- 1
- Year
- 1994
- Page
- 368
- ISBN
- 978-3-642-63511-3,978-3-642-57904-2
- File Type
- pdf
- File Size
- 13.3 MiB
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