Mikrosystemtechnik auf Silizium
- Author
- Privatdozent Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann (auth.)
- Publisher
- Vieweg+Teubner Verlag
- Language
- German
- Edition
- 1
- Year
- 1995
- Page
- 229
- ISBN
- 978-3-519-06158-8,978-3-322-92766-8
- File Type
- pdf
- File Size
- 8.7 MiB
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