Vakuumbeschichtung: Verfahren und Anlagen
- Author
- Dr. rer. nat. Uwe Behringer, Prof. Dr. Helmut Gärtner, Dr. Reinar Grün, Prof. Dr. Gerhard Kienel, Dr.-Ing. Michael Knepper, Univ.-Prof. Dr. techn. Erich Lugscheider, Prof. Dr. Hans Oechsner, Prof. Dr. Georg Wahl, Dr. rer. nat. Jürgen Waldorf, Prof. Dr. Gerhard K. Wolf (auth.), Prof. Dr. Gerhard Kienel, Prof. Dr. Klaus Röll (eds.)
- Publisher
- Springer-Verlag Berlin Heidelberg
- Language
- German
- Edition
- 1
- Year
- 1995
- Page
- 481
- ISBN
- 978-3-642-63398-0,978-3-642-57905-9
- File Type
- pdf
- File Size
- 12.7 MiB
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