Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren
- Author
- Dipl.-Ing. Walter Olbrich (auth.)
- Publisher
- Springer-Verlag Berlin Heidelberg
- Language
- German
- Edition
- 1
- Year
- 1994
- Page
- 126
- ISBN
- 978-3-540-58511-4,978-3-642-47892-5
- File Type
- pdf
- File Size
- 3.7 MiB
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