Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf
- Author
- Dr.-Ing. Oliver Morlok (auth.)
- Publisher
- Springer-Verlag Berlin Heidelberg
- Language
- German
- Edition
- 1
- Year
- 1998
- Page
- 147
- ISBN
- 978-3-540-64567-2,978-3-662-06656-0
- File Type
- pdf
- File Size
- 3.6 MiB
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