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Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf
Author
Dr.-Ing. Oliver Morlok (auth.)
Publisher
Springer-Verlag Berlin Heidelberg
Language
German
Edition
1
Year
1998
Page
147
ISBN
978-3-540-64567-2,978-3-662-06656-0
File Type
pdf
File Size
3.6 MiB
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