Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dünnschichtsystemen: Der Einfluß ionenbeschußindizierter Prozesse auf die Sekundärteilchenemission im Zerstäubungsgleichgewicht und an Schichtgrenzflächen
- Author
- Dieter Lipinsky (auth.)
- Publisher
- Deutscher Universitätsverlag
- Language
- German
- Edition
- 1
- Year
- 1995
- Page
- 211
- ISBN
- 978-3-8244-2066-7,978-3-663-14558-5
- File Type
- pdf
- File Size
- 8.0 MiB
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