MEMS in der Mikrosystemtechnik: Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme

MEMS in der Mikrosystemtechnik: Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme

Author
Dr.-Ing. Markus Glück (auth.)
Publisher
Vieweg+Teubner Verlag
Language
German
Year
2005
Page
204
ISBN
978-3-519-00520-9, 978-3-663-10778-1
File Type
pdf
File Size
21.7 MiB

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