MEMS in der Mikrosystemtechnik: Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme
- Author
- Dr.-Ing. Markus Glück (auth.)
- Publisher
- Vieweg+Teubner Verlag
- Language
- German
- Year
- 2005
- Page
- 204
- ISBN
- 978-3-519-00520-9, 978-3-663-10778-1
- File Type
- pdf
- File Size
- 21.7 MiB
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