Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
- Author
- Галперин В.А., Данилкин Е.В., Мочалов А.И.Под ред. Тимошенкова С.П.
- Publisher
- Издательство "Лаборатория знаний" (ранее "БИНОМ. Лаборатория знаний")
- Language
- Russian
- Edition
- 3
- Year
- 2015
- Page
- 286
- ISBN
- 9785996321292
- File Type
- pdf
- File Size
- 6.1 MiB
How to Download?!!!
Just click on START button on Telegram Bot