Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. «Базовые технологические процессы микросистемной техники». Гриф УМО.
- Author
- Потловский К.Г.
- Publisher
- Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана
- Language
- Russian
- Year
- 2013
- Page
- 64
- ISBN
- 978-5-7038-3729-0
- File Type
- pdf
- File Size
- 1.5 MiB
How to Download?!!!
Just click on START button on Telegram Bot