Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций
- Author
- Кузнецов Г.Д., Сергиенко А.А., Симакин С.Б.
- Publisher
- Издательство "МИСИС"
- Language
- Russian
- Year
- 2012
- Page
- 122
- ISBN
- 978-5-87623-547-3
- File Type
- pdf
- File Size
- 227.6 MiB
How to Download?!!!
Just click on START button on Telegram Bot