Сопоставление характеристик вакуумно-дуговых наноструктурных TiN покрытий, осаждаемых при подаче на подложку высоковольтных импульсов
- Author
- Шулаев В.М. и др.
- Language
- Russian
- File Type
- pdf
- File Size
- 380.6 KiB
How to Download?!!!
Just click on START button on Telegram Bot