Плазменные технологии в микроэлектронике. Часть 2. Особенности радикального травления полупроводниковых материалов в галогенсодержащей плазме

Author: Владимирова Людмила Николаевна, Дикарев Юрий Иванович, Рубинштейн Владимир Михайлович, Петраков Владимир Иванович
Language: Russian
Page: 22
File Type: pdf
File Size: 483.7 KiB

How to Download?!!!

Just click on START button on Telegram Bot

Free Download Book