Базовые технологические процессы интегральных схем : метод. указания и контр. задания по дисциплине «Маршрут. технология интегр. и больших гибрид. интегр. схем, датчики и сенсор. устройства» (раздел «Базовые технолог. процессы интегр. схем») для студентов специальностей I-42 01 02 «Микро- и наноэлектр. технологии и системы» заоч. и дистанц. форм обучения