Статистический анализ и оптимизация технологических параметров изготовления интегральных микросхем: учебно-метод. пособие для курсов лекций и лабораторных работ по дисциплинам "Расчет и проектирование элементов ин тегральных схем и полупроводниковых приборов", "Основы САПР в микро электронике", "Моделирование технологических процессов микроэлектроники" для студентов специальности 41 01 02 "Микроэлектроника"