Технология изготовления элементов ИС : метод. указания по дисциплине «Маршрут. технология интегр. и больших гибрид. интегр. схем, датчики и сенсор. устройства» (раздел «Маршрут. технология интегр. схем») для студентов специальности I-41 01 02 «Микро- и наноэлектр. технологии и системы» заоч. формы обучения