Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
- Author
- Ulrich Hilleringmann
- Publisher
- Springer Fachmedien Wiesbaden,Springer Vieweg
- Language
- German
- Edition
- 7., korr. und verb. Aufl.
- Year
- 2019
- Page
- XI, 275
- ISBN
- 978-3-658-23443-0,978-3-658-23444-7
- File Type
- pdf
- File Size
- 8.5 MiB
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