Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ электронике : методические указания по выполнению лабораторных работ для магистров, с направлением подготовки по специальности 11.04.04 и аспирантов с направлением подготовки по специальностям 05.27.01 и 05.27.06: лабораторные работы